CASICON晶体大会前瞻|北京中电科电子装备刘国敬：先进Grinding设备及工艺助力大尺寸SiC量产

发表于：2024-06-13 来源：半导体产业网编辑：

2024年6月21至23日，“新一代半导体晶体技术及应用大会”将在山东济南召开，将邀请新一代半导体领域相关高校院所专家和知名企业代表出席，共同研讨新一代半导体晶体技术进展及未来发展趋势，分享前沿研究成果，携手助力我国新一代半导体晶体技术进步和产业发展。

北京中电科电子装备有限公司副总经理刘国敬受邀将出席会议，并做《先进Grinding设备及工艺助力大尺寸SiC量产》的主题报告，将分享最新研究进展。

刘国敬

刘国敬，毕业于电子科技大学，研究生学历，现任北京中电科电子装备有限公司副总经理，正高级工程师，多年来，以国家战略需求和产业升级为导向，持续发力集成电路高端电子制造核心装备的自主创新，专注于国产集成电路减薄设备的自主设计和研发工作，为用户提供成套工艺解决方案。带领团队研发的一系列减薄机设备已应用于材料加工、芯片制造和封装等工艺段，同时在第三代半导体、化合物等材料加工领域也有广泛的应用。参与的国家02重大专项“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机项目”，获得中国电子科技集团公司科学技术奖一等奖，曾申请发明专利11项，以第一作者发表学术论文5篇，参与了《电子技术自动化发展与应用研究》著作的编委工作。

中电科logo

北京中电科电子装备有限公司成立于2003年12月，注册地在北京亦庄经济技术开发区，注册资本1.6亿元，是中国电科旗下电科装备的全资控股公司，是国家科技部02专项、863计划、重点研发计划等多个重点项目的承担单位。公司主要从事集成电路、第三代半导体及其他分立器件领域用减薄机、划片机、研磨机等设备的研发生产和销售，覆盖4英寸、6英寸、8英寸和 12 英寸晶圆的材料加工、芯片制造和封装等工艺段，是国内重要的半导体设备供应商。

北京中电科主要产品

WG-1261全自动减薄机

WG-1261全自动减薄机

可支持 6/8 英寸 SiC 晶片/晶圆磨削：双轴三工位和一回转工作台结构；全自动搬运，节省人力成本；适用于大批量生产，可用于晶片双面减薄和晶圆背面减薄；可搭配激光剥离设备，磨削激光剥离后的晶片；配备实时在线测量单元(量程0~1800um，用于测量晶片/晶圆厚度)。

WG-1250 自动减薄机

WG-1250 自动减薄机

可支持 6/8英寸 SiC 晶锭/晶片/晶圆磨削：双轴三工位和一回转工作台结构；适用于批量生产，可用于晶锭/晶片/晶圆磨削；可满足不同厚度晶锭同时加工，粗磨和精磨同时进行，效率高；根据晶锭/晶片的厚度，实时在线测量(量程0~1800um)/大量程在线测量(量程0~50000um)两种方式可选。

一、组织机构

指导单位：

第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）

主办单位：

山东中晶芯源半导体科技有限公司

山东华光光电子股份有限公司

山东大学新一代半导体材料研究院

山东大学晶体材料国家重点实验室

极智半导体产业网（www.casmita.com）

第三代半导体产业

承办单位：

北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司

广州南砂晶圆半导体技术有限公司

协办支持：

山东硅酸盐学会新材料专委会

济南晶谷研究院

江苏通用半导体有限公司

北京中电科电子装备有限公司

江苏才道精密仪器有限公司

上海澈芯科技有限公司

顾问委员会：

陈良惠郑有炓吴以成褚君浩祝世宁李树深王立军黄如杨德仁叶志镇江风益刘益春罗毅金奎娟刘纪美

大会主席：张荣徐现刚吴玲

大会副主席：陈秀芳赵璐冰王垚浩吴德华

程序委员会：

李晋闽沈波康俊勇张清纯冯淦盛况邱宇峰张波柏松陈彤修向前黄凯胡卉伊晓燕黎大兵孙涛宋庆文魏同波张紫辉邓小川刘斌王晓亮王新强张进成吴军赵德刚孙钱杨学林单崇新于浩海叶建东王宏兴王笃福王光绪宋庆文韩吉胜黄森冯志红龙世兵房玉龙彭燕徐明升朱振夏伟杨祥龙樊仲伟顾小勇孙洪波郝志彪唐淳林学春王成新于国建万成安上官世鹏

组织委员会：

李树强李大大高娜张雷宁静闫方亮崔潆心谢雪健肖龙飞薛军帅王荣堃刘鹏王雨雷王希玮贾欣龙王守志崔鹏钟宇李沛旭沈燕杜军军任颖许建华等

二、主题方向

1. 碳化硅晶体技术及其应用

·碳化硅晶锭激光剥离技术及其设备

·液相法碳化硅单晶生长技术

·碳化硅外延生长技术

·先进长晶及外延碳材石墨技术

·碳化硅功率器件设计与制造技术

·先进碳化硅长晶炉及外延生长装备

·先进晶体缺陷检测技术及其设备

·先进研磨设备及先进抛光技术

·激光退火设备及技术

·先进刻蚀设备及技术

·银烧结封装技术及先进封装设备

2. 氮化镓、超宽禁带晶体及其应用

·氮化镓单晶及外延生长技术

·氮化镓功率及射频器件技术

·超宽禁带半导体单晶技术

·铌酸锂晶体技术制备

·大尺寸金刚石单晶生长技术

·氧化镓单晶生长技术

·氧化镓外延及器件技术

·先进AlN 单晶生长技术及其应用

·Micro LED 技术

3. 砷化镓、磷化铟晶体及其应用

·砷化镓、磷化铟单晶及外延技术

·半导体激光器技术及应用

·车用激光雷达技术及应用

·光通信技术及应用

·红外LED及显示照明技术

三、会议概览

会议时间：2024年6月21-23日

会议酒店：山东·济南融创施柏阁酒店

日程概览

四、拟参与单位

北方华创、百识电子、比亚迪半导体、长飞半导体、东莞天域、东尼电子、华大半导体、华虹半导体、海思半导体、海创光电、瀚天天成、国星光电、基本半导体、江苏宏微、晶盛机电、晶湛半导体、科友半导体、山东华光、连城数控、理想汽车、麦科信、南砂晶圆、日立、三安半导体、山东华光、山东华云光电、中晶芯源、是德科技、三环集团、烁科晶体、士兰微、STR、苏州纳维、宇晶股份、艾姆希半导体、晶工半导体、赛尔科技、通用半导体、泰克科技、安储科技、华林嘉业、联盛电子、厚德钻石、博宏源、昂坤视觉、瑞霏光电、中科汉达、上海央米智能、同光半导体、泰科天润、特思迪、ULVAC、先导新材、西门子、小鹏汽车、意法半导体、英飞凌、扬杰科技、英诺赛科、中博芯、中电化合物、中电科二所、中电科十三所、中电科四十六所、中电科四十八所、中电科五十五所、中镓半导体、中微公司、瞻芯电子、中芯国际、北京大学、东南大学、电子科技大学、复旦大学、清华大学、南京大学、山东大学、西安电子科技大学、西安交通大学、厦门大学、浙江大学、中科院半导体所、中科院微电子所等

五、活动参与

1、注册费2800元，6月10日前注册报名2500元（含会议资料袋，6月22日午餐、欢迎晚宴，6月23日自助午餐、晚餐）。企业展位预定中，请具体请咨询。

2、扫码报名

活动行报名二维码

扫码完成预报名，然后再注册缴费

六、缴费方式

①银行汇款

开户行：中国银行北京科技会展中心支行

账号：336 356 029 261

名称：北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司

②移动支付

麦肯桥收款码

备注：通过银行汇款/移动支付，请务必备注：单位简称+姓名，以便后续查询及开具发票。若需开具发票请将报名信息、转账凭证及开票信息发送至邮箱:lilyli@china-led.net。

七、联系方式

报告及论文投稿联系：

贾先生18310277858，jiaxl@casmita.com

白女士18888840079，bailu@casmita.com

参会及商务合作：

贾先生 18310277858，jiaxl@casmita.com

张女士 13681329411，zhangww@casmita.com

段先生 13717922543，duanpf@casmita.com

中晶芯源联系人：

王先生 15811352980

八、协议酒店

1、会议酒店名称：济南融创施柏阁酒店（济南市历城区凤鸣路5865号）

协议价格：大床/ 标间含早 500元/1-2份早餐

预订方式：

发邮件到预订部 jnrcwlc@huazhu.com 抄送：victoria0001@hworld.com

邮件模本：晶体会议，姓名，电话，房型，入住时间，退房时间

酒店销售经理：谢文宁15966068948

2、周边协议酒店

济南会议协议酒店

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