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    突破!国产SiC外延设备首次大规模发货!

    发表于:2025-02-11 来源:半导体产业网 编辑:

     2月9日,中国电科官方宣布,其所属的48所成功实现第三代半导体SiC外延设备的首次大规模批量发货,共计30台套。这一突破标志着中国在第三代半导体设备领域取得重要进展,也为全球半导体产业注入了新的活力。

    SiC(碳化硅)外延设备是第三代半导体器件制造的核心关键设备之一。与传统的硅基半导体相比,SiC材料具有耐高温、耐高压和高导电性等优势,广泛应用于新能源汽车、5G通信、航空航天等领域。

    然而,由于技术门槛高、设备复杂,SiC外延设备的研制和产业化一直是全球半导体领域的难题。中国电科48所历时多年,攻克了多项关键技术,成功实现了SiC外延设备的自主研发和量产。

    此次发货的30台套设备不仅在国内实现了首次大规模批量交付,而且已累计出货百余台套,并在客户现场稳定运行。这一成绩的取得,标志着中国在第三代半导体设备领域已具备较强的国际竞争力。

    此外,中国电科48所还注重设备的智能化和自动化设计,引入了先进的AI算法,实现了设备运行状态的实时监测和优化控制。这些创新不仅提升了设备的生产效率,还大幅降低了设备的维护成本,为用户提供了更高的性价比。