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上海汉虹申请一种单晶炉碳化硅炉专用KF40电动蝶阀专利

发表于:2024-11-04 来源:半导体产业网 编辑:

 国家知识产权局信息显示,上海汉虹精密机械有限公司申请一项名为“一种单晶炉碳化硅炉专用的KF40电动蝶阀”的专利,公开号 CN 118881744 A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明提供一种单晶炉碳化硅炉专用的KF40电动蝶阀,包括蝶阀主体,蝶阀主体包括一阀体,阀体的顶部固定有阀座,阀座的上表面固定一连接板,阀座通过连接板与光纤支架连接,阀体通过步进电机驱动,步进电机连接一减速机,步进电机与减速机固定在光纤支架的顶端;阀体的内部设有阀杆,阀体通过阀杆带动阀芯旋转来实现蝶阀的启闭,阀体完全关闭时,通过将第一密封圈压实在密封面上实现密封,密封面呈圆弧形,阀杆的底端套设有第一轴套,阀芯的上端部套设有第二轴套,阀杆与阀体之间通过第二密封圈实现密封。由于蝶阀结构的特殊性,阀芯在启闭过程中密封圈容易与密封面产生较大摩擦,因此调整密封面为圆弧面,且调整了阀杆的偏心距。

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